專業(yè)從事各種高精密研磨設(shè)備、拋光設(shè)備及其配套產(chǎn)品和消耗材料的高新企業(yè)
立式減薄機(jī)（FD-150A，F(xiàn)D-200A，F(xiàn)D-300A，F(xiàn)D550A晶圓減薄機(jī)）
主要用途：
本設(shè)備主要用于藍(lán)寶石襯底、硅片、陶瓷片、光學(xué)玻璃、石英晶體、鉭酸鋰，石墨烯，硫化銦等其它半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的高速減薄。
立式減薄機(jī)主要特點(diǎn)：
1、吸盤根據(jù)客戶的工藝要求可分為電磁吸盤和真空吸盤，吸盤大小可根據(jù)客戶需求定制，直徑320-600mm。。
2、砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸，驅(qū)動(dòng)方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速可以根據(jù)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。
3、砂輪進(jìn)給模式分三段設(shè)置，能更方便地設(shè)置有效的減薄方案，提高減薄后的精密度和表面效果，
4、對(duì)刀方式在不改變砂輪和吸盤的情況下，針對(duì)不同厚度的工件只需要一次對(duì)刀就可以連續(xù)工作，不需要每次都要對(duì)刀。
5、本機(jī)采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件，驅(qū)動(dòng)方式是伺服驅(qū)動(dòng)，可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)的改變絲桿的轉(zhuǎn)速，也就是砂輪的進(jìn)刀速度，速度0.001-5mm/min可調(diào)，控制進(jìn)給精度由高分辨率光柵尺檢測(cè)。
6、本機(jī)采用國際先進(jìn)品牌PLC和觸摸屏，自動(dòng)化程度高，實(shí)現(xiàn)人機(jī)對(duì)話，操作簡(jiǎn)單一目了然。
7、設(shè)備可檢測(cè)磨削扭力、自動(dòng)調(diào)節(jié)工件磨削速度，從而防止工件磨削過程中因壓力過大產(chǎn)生變形及破損，自動(dòng)補(bǔ)償砂輪磨損厚度尺寸，可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會(huì)破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
8、氣壓壓力檢測(cè)傳感器，當(dāng)氣壓小于設(shè)備設(shè)置的正常加工 所需的最小壓力時(shí)設(shè)備報(bào)警，防止工件吸不牢。
9、砂輪扭矩控制，當(dāng)扭矩高于設(shè)備設(shè)置的正常加工所產(chǎn) 生的扭矩時(shí)設(shè)備報(bào)警，防止設(shè)備異常或者誤操作時(shí)撞刀損壞機(jī)器配件。
10、砂輪電流監(jiān)測(cè)，當(dāng)冷砂輪高于設(shè)備設(shè)置的正常加工所產(chǎn) 生的最大電流時(shí)砂輪回彈，回彈距離可調(diào)，防止砂輪擠壓工件 造成損壞。
11、磨輪損耗量的自動(dòng)補(bǔ)償，防止因砂輪在磨削產(chǎn)品的同時(shí) 產(chǎn)生的消耗影響工件的加工精度。
12、設(shè)備可根據(jù)客戶需求選擇加裝砂輪在線修整功能。
13、設(shè)備可根據(jù)客戶需求選擇加裝在線測(cè)厚功能。
減薄效率：減薄效率高，LED藍(lán)寶石襯底每分鐘磨削速度最高可減薄48微米。硅片每分鐘磨削速度最高可減薄250微米。
該設(shè)備減薄效果圖：
技術(shù)參數(shù)：
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型號(hào) |
FD-150A |
FD-200A |
FD-300A |
FD-550A |
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有效真空尺寸 |
Φ150mm |
Φ200mm |
Φ300mm |
Φ550mm |
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吸盤轉(zhuǎn)速（連續(xù)可調(diào)） |
0-300rpm/min |
0-300rpm/min |
0-300rpm/min |
0-300rpm/min |
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吸盤電機(jī)功率 |
2.2KW 380V 3相 |
2.2KW 380V 3相 |
2.2KW 380V 3相 |
2.2KW 380V 3相 |
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光柵控制系統(tǒng) |
分辨率0.0005mm |
分辨率0.0005mm |
分辨率0.0005mm |
分辨率0.0005mm |
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磨輪轉(zhuǎn)速 |
0-3000rpm/min |
0-3000rpm/min |
0-3000rpm/min |
0-3000rpm/min |
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磨輪馬達(dá)功率 |
5.5KW |
5.5kw |
5.5kw |
5.5kw |
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產(chǎn)品減薄后平行度 |
≤3um |
≤3um |
≤3um |
≤3um |
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產(chǎn)品減薄后厚度誤差 |
≤3um |
≤3um |
≤3um |
≤3um |
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產(chǎn)品減薄后平面度 |
≤2um |
≤2um |
≤2um |
≤2um |
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產(chǎn)品最小減薄厚度 |
≥100um |
≥100um |
≥100um |
≥100um |
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磨輪重復(fù)定位精度 |
1um |
1um |
1um |
1um |
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磨輪最小設(shè)定步距 |
0.1um/s |
0.1um/s |
0.1um/s |
0.1um/s |
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水箱尺寸 |
780*480*550mm |
780*480*550mm |
780*480*550mm |
780*480*550mm |
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外形尺寸 |
1010*1210*2070mm |
1010*1210*2070mm |
1010*1210*2070mm |
1200*1350*2070mm |
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重量 |
1200KG |
1200KG |
1200KG |
1280KG |
